一�� 超純水系��(tǒng)總體介紹
隨著電子工業(yè)的發(fā)��，在芯片的生��(chǎn)加工過程��，對于水��(zhì)的要求也越來越高。為了保證生��(chǎn)出超大規(guī)模的集成電路，除高純原材��、高純氣��、高純化��(xué)藥品��，高純水也是其中��(guān)鍵的因素之一。高純水系統(tǒng)是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水��

超純水系��(tǒng)總體來說一般可分為三個部分：

超純水制造區(qū)（CUB部分����

超純水拋光循��(huán)區(qū)（FAB部分����

超純水輸送管��(wǎng)（FAB各使用區(qū)）��

其中超純水制造復(fù)雜其又可分為：預(yù)處理、一次純水處��、超純水處理三個部分��

��(yù)處理部分主要包括：石英砂過濾��、活性炭過濾器（有的廠商在沙濾前還增��(shè)反應(yīng)槽、氣浮池����

一次純水部分主要包括：陰陽離子交換��、脫氣塔（DG）、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲����

超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌��、拋光混床（SMB）及終端過濾器��

但是由于考慮到在向工藝線��(shè)備輸送高純水過程��，輸水管道會對水��(zhì)再次造成污染，因而在FAB��(nèi)一般都��(shè)立拋光循��(huán)系統(tǒng)。拋光循��(huán)系統(tǒng)主要以MB為核��，再加上終端超濾��(shè)備（UF），以除去在向工藝生��(chǎn)線輸送純水的過程��，管��(wǎng)溶入水中的雜��(zhì)��

���� 超純水系��(tǒng)中各階段常用管材
在超純水系統(tǒng)中管材的選用也非常重要，既要能做到保證水��(zhì)、又��(yīng)該做到經(jīng)��(jì)合理。超純水系統(tǒng)中常用管材主要包括：U-PVC、SGP、SGP（RL��、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管����

一般在超純水制造區(qū)��(yù)處理階段多采用U-PVC管或SUS304��。設(shè)備面管一般采用內(nèi)襯膠鋼管（SGP RL��，對于水泵等��(chǎn)生震動的動力��(shè)備周邊采用SUS304��；在一次純水階段主流程采用CPVC管或SUS304��。高壓泵與反滲透（RO）之��，由于壓力高，所以須采用SCH80的SUS304管及耐壓2.0Mpa級法��。由于RO對水溫有一定要��，因而一般在RO之前有熱交換��，其周邊也應(yīng)采用SUS304��；在超純水制造階段，主流程一般應(yīng)采用SUS316管和CPVC��；拋光循��(huán)區(qū)主流程一般采用SUS316管（焊接連接，并要求雙面成型）和PVDF��,超純水回收管道采用CPVC����

在以上水處理各階段廢水排放管道均采用普通U-PVC管；在純水制造過程中酸堿等加藥管��，應(yīng)采用耐沖擊PVC管；純水系統(tǒng)中使用的��?dú)庀到y(tǒng)采用SUS304��，超純水拋光系統(tǒng)所用氮?dú)夤艿啦捎肧US316管；壓縮空氣系統(tǒng)在純水系��(tǒng)中作為氣動閥開關(guān)動力，一般采用SUS304管或SGP管，��(dāng)采用SGP管時��(jìn)入電氣盤前需加過濾器��