��(xiàn)在人們對于各方面的要求很��，尤其是在節(jié)能環(huán)保方��。多晶硅、單晶硅清洗用水就是針對于光伏產(chǎn)��(yè)，比如人們最為熟悉的太陽能系列產(chǎn)��，以下介紹幾種解決方案的工藝流程��

多晶��、單晶硅清洗用水工藝流程

1、采用離子交換樹脂制備電子工��(yè)超純水的傳統(tǒng)水處理方��，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→陽床→陰床→混��(��(fù)��)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點��

2、采用反滲透水處理與離子交換��(jìn)行組合制備電子工��(yè)超純水的方式，其基本工藝流程為：原水→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透→混床(��(fù)��)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點��

3、采用反滲透與電去離子(EDI)��(jìn)行搭配制備電子工��(yè)超純水的的方式，這是一種制取超純水的最新工��，也是一種環(huán)保，��(jīng)��，發(fā)��?jié)摿薮蟮某兯苽涔��?，其基本工藝流程為：��?span style="margin: 0px; padding: 0px; max-width: 100%; box-sizing: border-box !important; word-wrap: break-word !important;">→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→精密過濾器→中間水箱→反滲透→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置保安過濾器→用水點��

 多晶硅、單晶硅清洗用水工藝比較

目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三��，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基��(chǔ)上��(jìn)行不同組合搭配衍生而來?，F(xiàn)將他們的��(yōu)缺點分別列于下面��

1、第一種采用離子交換樹脂其��(yōu)點在于初投資��，占用的地方��，但缺點就是需要經(jīng)常��(jìn)行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞��

2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交��，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要��，但離子再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很��。但對環(huán)境還是有一定的破壞����

3、第三種采用反滲透作��(yù)處理再配上電去離��(EDI)裝置，這是目前制取超純水最��(jīng)濟，最��(huán)保用來制取超純水的工��，不需要用酸堿��(jìn)行再生便可連續(xù)制取超純��，對��(huán)境沒什么破壞��。其缺點在于初投資相對以上兩種方式稍貴一����

多晶硅、單晶硅清洗用水解決方案技��(shù)特點

1、超純水專用��

    采用膜表面高分子嫁接技��(shù)，產(chǎn)水TOC��20PPB以下，更適用電子級超純水系統(tǒng)��

    高TOC脫除��、高抗污染能力、低TOC溶出��，TOC��(dá)��(biāo)沖洗時間��、先��(jìn)配套電源技��(shù)，能耗更����

2、電去離子技��(shù)

    離子交換樹脂再生不需要使用昂貴且有危害的化學(xué)��，降低了能源和運行費用、設(shè)施的大小要求��

    采用新型均勻樹脂包填充，有效提高脫鹽����

多晶硅_單晶硅清洗用水解決方案執(zhí)行標(biāo)��(zhǔn)

出水水質(zhì)符合��

1、ASTM-D5127-2007《美國電子學(xué)和半��(dǎo)體工��(yè)用超純水��(biāo)��(zhǔn)��

2、歐盟電子級超純水標(biāo)��(zhǔn)

3、中國電子工��(yè)國家��(biāo)��(zhǔn)